VAC COAT - High performance Desktop Coater
Desk Sputter Coater - DSR1
DSR1은 비전도성 또는 전도성이 낮은 박막에 금(Au), 팔라듐(Pd), 백금(Pt) 및 금/팔라듐(Au/Pd)과 같은 귀금속을 코팅할 수 있는 소형 코팅 시스템입니다. Desk Magnetron Sputter Coater(DSR1)는 완전 자동화된 시스템에서 일관되고 반복 가능한 결과를 제공하는 생산성이 높은 도구입니다. DSR1의 인체공학적 디자인과 작은 설치 면적으로 시스템을 쉽게 사용할 수 있어 주사전자현미경(SEM) 분석에 적합합니다.
문의하기- 실시간 두께 측정에 사용되는 Quartz crystal 모니터링 시스템 (1nm 정밀도)
- 직관적인 터치 스크린으로 코팅 공정을 제어입력이 가능
- 네트워크를 통한 최신 소프트웨어 업데이트 가능
- 더 미세한 입자 구조를 얻기 위해 코팅 속도를 제어합니다.
- Easy-to-change specimen stages로 변경이 쉬운 스테이지
- CE conformity
DC Sputting coating
DC 플라즈마를 이용하여 다양한 금속(Au,Pt,Pd,Pt-Pd)을 코팅 할 수 있습니다. Table SEM 및 Normal SEM 시편 전처리에 가장 가성비가 좋아 적합한 코팅을 할 수 있습니다.
Touch Screen Control
7인치 컬러 터치스크린과 전자동 제어 및 데이터 입력이 가능하여 미숙한 사용자도 조작할 수 있습니다. 진공, 전류 및 증착 정보는 터치 스크린에서 디지털 데이터 또는 곡선으로 모니터링할 수 있습니다. 지난 300개의 코팅 정보는 이력 페이지에서 확인 할 수 있습니다.
Sample Holder
사용자 요구 사항에 따라 다양한 샘플 스테이지 구성을 장착할 수 있습니다. 샘플 스테이지는 높이 조절이 가능하며 쉽게 변경할 수 있습니다. Rotary planetary sample stage는 다공성 시편의 균일한 코팅을 위한 좋은 선택입니다.
| Models & Specification | ||||
|---|---|---|---|---|
| Items |  |
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| Type | DSR | DSR1-4 | DCR | DSCR |
| Models | dedicated Sputter Coater | Sputter Coater for large samples (100mm) |
dedicated Carbon Coater (fiber or rod) |
dual purpose Sputter and Carbon Coater |
| Target Materials | Au, Pt, Au/Pd, Pt/Pd, Cu, Ag | Au, Pt, Au/Pd, Pt/Pd, Cu, Ag | Carbon | Au, Pt, Au/Pd, Pt/Pd, Cu, Ag+Carbon |
| Target Size | Ø50mm | Ø100mm | 0.8mm (Thread) | Ø50mm |
| Chamber Size | 170mm | 300mm | 170mm | 170mm |
| Sputter Current | 0 to 100 mA | 0 to 300 mA | N/A | 0 to 100 mA |
| Carbon Evaporation Current | N/A | N/A | 0 to 30A (fiber) 0 to 100A (rod) | 0 to 30A (fiber) 0 to 100A (rod) |
| System Power Supply | 80WDC | 80WDC | 720WDC | 800WDC |
| Process Gas | Argon, Nitrogen or Air | Argon, Nitrogen or Air | Argon, Nitrogen or Air | Argon, Nitrogen or Air |
| Tilt-Rotate Stage | Standard | Standard | Standard | Standard |
| Planetary Tilt Rotate Stage | Optional | Optional | Optional | Optional |
| Thickness Monitor | Standard | Standard | Standard | Standard |
| Carbon Coating | N/A | N/A | Standard | Standard |
| Input Power | 110V (220V optional) | 110V (220V optional) | 110V (220V optional) | 110V (220V optional) |
| Coater Dimensions (mm) | 500(W)×370(D)×450(H) | 500(W)×600(D)×570(H) | 500(W)×370(D)×450(H) | 500(W)×370(D)×450(H) |
| Shipping Weight | 42 kg | 60 kg | 42 kg | 44 kg |
| Otions & Features | DSR1 | DSCR | DCR | DST1-170 | DST1-300 | DSCT | DCT | DST3-A | DST3-S | DST3-TA | DST3-TS | DTT | PLD | PLD-T |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Sputtering | ||||||||||||||
| Resistance Thermal Evaporation | ||||||||||||||
| Multi Layer Deposition | ||||||||||||||
| RF Power | ||||||||||||||
| DC Power | ||||||||||||||
| High Current Power | ||||||||||||||
| Rotary | ||||||||||||||
| Turbo | ||||||||||||||
| Carbon Evaporation | ||||||||||||||
| Pulsed Laser Deposition | ||||||||||||||
| Co-Sputtering or Co-Evaporation |
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| Size of Vacuum Chamber | S | S | S | S | L | S | S | L | L | L | L | L | L | L |
| Number of Targets or Thermal Sources |
1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
