VAC COAT - High performance Desktop Coater
Turbo Pumped Desk Sputter Coater - DST1-170
DST1-170은 금속 코팅(산화 및 비산화) 기능을 갖춘 소형 코팅 시스템입니다. 미세한 입자 크기의 균일한 박막이 빠른 사이클 시간으로 형성됩니다. 이 고진공 코터는 FE-SEM, EDS/WDS, TEM 및 EBSD와 같이 고해상도 및 고품질 특성화가 필요한 시편에 적합한 미세 입자 크기의 균일한 전도성 코팅층을 제공합니다. 2inch 마그네트론 음극, 80W 스위칭 DC 전원 공급 장치가 있는 DST1-170은 연구 및 다양한 박막 응용 분야에 사용할 수 있습니다.
문의하기- 실시간 두께 측정에 사용되는 Quartz crystal 모니터링 시스템 (1nm 정밀도)
- Full range vacuum gauge (Leybold)
- 직관적인 터치 스크린으로 코팅 공정을 제어입력이 가능
- 네트워크를 통한 최신 소프트웨어 업데이트 가능
- 더 미세한 입자 구조를 얻기 위해 코팅 속도를 제어합니다.
- Easy-to-change specimen stages로 변경이 쉬운 스테이지
- CE conformity
High Vaccum DC Sputting coating
고진공에서 DC 플라즈마를 이용하여 더욱더 다양한 금속(Au, Pt, Pd, Pt-Pd, Cr, Ir, Co)을 코팅 할 수 있습니다. 저진공에 비하여 입자들이 더욱더 작고 균일하게 코팅이 되어 FE-SEM, FIB, TEM 시편 전처리를 위해 가장 적합한 코팅을 할 수 있습니다.
Touch Screen Control
7인치 컬러 터치스크린과 전자동 제어 및 데이터 입력이 가능하여 미숙한 사용자도 조작할 수 있습니다. 진공, 전류 및 증착 정보는 터치 스크린에서 디지털 데이터 또는 곡선으로 모니터링할 수 있습니다. 지난 300개의 코팅 정보는 이력 페이지에서 확인 할 수 있습니다.
Sample Holder
사용자 요구 사항에 따라 다양한 샘플 스테이지 구성을 장착할 수 있습니다. 샘플 스테이지는 높이 조절이 가능하며 쉽게 변경할 수 있습니다. Rotary planetary sample stage는 다공성 시편의 균일한 코팅을 위한 좋은 선택입니다.
| Models & Specification | ||||
|---|---|---|---|---|
| Items |  |
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| Type | DST | DCT | DTT | DSCT |
| Models | High vacuum dedicated Sputter Coater | High vacuum dedicated Carbon Coater (fiber or rod) | High vacuum dedicated Evaporation (Boat, Basket, Coil) | High vacuum dual purpose Sputter and Carbon Coater |
| Target Materials | Au, Pt, Au/Pd, Pt/Pd, Cu, Ag, Cr, Co, Ir | Carbon fiber, Carbon rod | Au, Al, Pt, LiF, Carbon, Cu, Alloy | Au, Pt, Au/Pd, Pt/Pd, Cu, Ag, Carbon fiber, Carbon rod |
| Target Size | Ø50mm | 0.8mm (Thread) | 5~9cm | Ø50mm, 0.8mm (Threa) |
| Chamber Size | 170mm | 170mm | 300mm | 170mm |
| Sputter Current | 0 to 100 mA | N/A | N/A | 0 to 100 mA |
| Carbon Evaporation Current | N/A | 0 to 30A (fiber) 0 to 100A (rod) | N/A | 0 to 30A (fiber) 0 to 100A (rod) |
| System Power Supply | 80WDC | 720WDC | 80WDC | 800WDC |
| Process Gas | Argon, Nitrogen or Air | Argon, Nitrogen or Air | Argon, Nitrogen or Air | Argon, Nitrogen or Air |
| Tilt-Rotate Stage | Standard | Standard | Standard | Standard |
| Planetary Tilt Rotate Stage | Optional | Optional | Optional | Optional |
| Thickness Monitor | Standard | Standard | Standard | Standard |
| Input Power | 220~240V, 50~60Hz | 220~240V, 50~60Hz | 220~240V, 50~60Hz | 220~240V, 50~60Hz |
| Coater Dimensions (mm) | 500(W)×370(D)×450(H) | 500(W)×600(D)×570(H) | 600(W)×650(D)×450(H) | 500(W)×370(D)×450(H) |
| Shipping Weight | 42 kg | 36 kg | 60 kg | 42 kg |
| Otions & Features | DSR1 | DSCR | DCR | DST1-170 | DST1-300 | DSCT | DCT | DST3-A | DST3-S | DST3-TA | DST3-TS | DTT | PLD | PLD-T |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Sputtering | ||||||||||||||
| Resistance Thermal Evaporation | ||||||||||||||
| Multi Layer Deposition | ||||||||||||||
| RF Power | ||||||||||||||
| DC Power | ||||||||||||||
| High Current Power | ||||||||||||||
| Rotary | ||||||||||||||
| Turbo | ||||||||||||||
| Carbon Evaporation | ||||||||||||||
| Pulsed Laser Deposition | ||||||||||||||
| Co-Sputtering or Co-Evaporation |
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| Size of Vacuum Chamber | S | S | S | S | L | S | S | L | L | L | L | L | L | L |
| Number of Targets or Thermal Sources |
1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
