VAC COAT - High performance Desktop Coater
Triple Target Turbo Pumped Desk Sputter Coater - DST3-T
DST3-T에는 대형 챔버(직경 300mm)와 3개의 타겟이 장착되어 있어 화합물 형성 코팅이 가능합니다. 또한 RF 및 DC 전원 공급 장치가 장착되어 있어 세라믹(ITO, AZO, FTO, etc) 및 금속 타겟을 스퍼터링할 수 있습니다. 따라서 시편전처리 기능과 동시에 반도체 공정에도 사용 할 수 있어 다양한 연구에도 활용이 가능합니다.
문의하기- 실시간 두께 측정에 사용되는 Quartz crystal 모니터링 시스템 (1nm 정밀도)
- Full range vacuum gauge (Leybold)
- Pulsed or flash 카본파이버 (carbon fiber) 코팅 모드
- RF & DC magnetron 사용으로 인한 반도체 공정이 가능
- 직관적인 터치 스크린으로 코팅 공정을 제어입력이 가능
- 500℃까지 온도 제어 가능 스테이지 (동시 열처리 코팅)
- 네트워크를 통한 최신 소프트웨어업데이트 가능
- 더 미세한 입자 구조를 얻기 위해 코팅 속도를 제어합니다.
- Easy-to-change specimen stages로 변경이 쉬운 스테이지
- CE conformity
Plasma Cleaner
DST3-T는 플라즈마 클리너 옵션이 장착되어 있습니다. 플라즈마 세정은 플라즈마라고 불리는 이온화된 가스를 사용하여 기판 표면에서 유기물을 제거하는 과정입니다. 기판 표면에서 오염(C 기반, 산화물)을 제거하기 위해 필름을 증착하기 전에 기판을 사전 청소하면 기판과 후속 층 사이의 접착력이 향상됩니다.
Touch Screen Control
7인치 컬러 터치스크린과 전자동 제어 및 데이터 입력이 가능하여 미숙한 사용자도 조작할 수 있습니다. 진공, 전류 및 증착 정보는 터치 스크린에서 디지털 데이터 또는 곡선으로 모니터링할 수 있습니다. 지난 300개의 코팅 정보는 이력 페이지에서 확인 할 수 있습니다.
Sample Holder
사용자 요구 사항에 따라 다양한 샘플 스테이지 구성을 장착할 수 있습니다. 샘플 스테이지는 높이 조절이 가능하며 쉽게 변경할 수 있습니다. Rotary planetary sample stage는 다공성 시편의 균일한 코팅을 위한 좋은 선택입니다.
| Models & Specification | ||||
|---|---|---|---|---|
| Items |  |
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| Type | DST | DCT | DTT | DSCT |
| Models | High vacuum dedicated Sputter Coater | High vacuum dedicated Carbon Coater (fiber or rod) | High vacuum dedicated Evaporation (Boat, Basket, Coil) | High vacuum dual purpose Sputter and Carbon Coater |
| Target Materials | Au, Pt, Au/Pd, Pt/Pd, Cu, Ag, Cr, Co, Ir | Carbon fiber, Carbon rod | Au, Al, Pt, LiF, Carbon, Cu, Alloy | Au, Pt, Au/Pd, Pt/Pd, Cu, Ag, Carbon fiber, Carbon rod |
| Target Size | Ø50mm | 0.8mm (Thread) | 5~9cm | Ø50mm, 0.8mm (Threa) |
| Chamber Size | 170mm | 170mm | 300mm | 170mm |
| Sputter Current | 0 to 100 mA | N/A | N/A | 0 to 100 mA |
| Carbon Evaporation Current | N/A | 0 to 30A (fiber) 0 to 100A (rod) | N/A | 0 to 30A (fiber) 0 to 100A (rod) |
| System Power Supply | 80WDC | 720WDC | 80WDC | 800WDC |
| Process Gas | Argon, Nitrogen or Air | Argon, Nitrogen or Air | Argon, Nitrogen or Air | Argon, Nitrogen or Air |
| Tilt-Rotate Stage | Standard | Standard | Standard | Standard |
| Planetary Tilt Rotate Stage | Optional | Optional | Optional | Optional |
| Thickness Monitor | Standard | Standard | Standard | Standard |
| Input Power | 220~240V, 50~60Hz | 220~240V, 50~60Hz | 220~240V, 50~60Hz | 220~240V, 50~60Hz |
| Coater Dimensions (mm) | 500(W)×370(D)×450(H) | 500(W)×600(D)×570(H) | 600(W)×650(D)×450(H) | 500(W)×370(D)×450(H) |
| Shipping Weight | 42 kg | 36 kg | 60 kg | 42 kg |
| Otions & Features | DSR1 | DSCR | DCR | DST1-170 | DST1-300 | DSCT | DCT | DST3-A | DST3-S | DST3-TA | DST3-TS | DTT | PLD | PLD-T |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Sputtering | ||||||||||||||
| Resistance Thermal Evaporation | ||||||||||||||
| Multi Layer Deposition | ||||||||||||||
| RF Power | ||||||||||||||
| DC Power | ||||||||||||||
| High Current Power | ||||||||||||||
| Rotary | ||||||||||||||
| Turbo | ||||||||||||||
| Carbon Evaporation | ||||||||||||||
| Pulsed Laser Deposition | ||||||||||||||
| Co-Sputtering or Co-Evaporation |
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| Size of Vacuum Chamber | S | S | S | S | L | S | S | L | L | L | L | L | L | L |
| Number of Targets or Thermal Sources |
1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
