VAC COAT - High performance Desktop Coater
Desk Thermal Evaporator - DTT
DTT는 박막의 진공 증착을 위한 탁상형 터보 분자 펌핑 열 증발기입니다. 증발 소스(보트/바스켓/코일) 선택 시스템을 사용한 삼중 소스 증발은 다층 또는 합금 증착에 이상적입니다. 짧은 시간에 원하는 코팅 속도에 도달할 수 있으며 코팅 공정은 몇 분 이내에 빠르게 수행할 수 있어 실험실 연구에 적합합니다.
문의하기- multilayer thin film 코팅을 위한 Evaporation source (boat / basket / coil) 선택가능
- 실시간 두께 측정에 사용되는 Quartz crystal 모니터링 시스템 (1nm 정밀도)
- Co – evaporation을 통한 합금(alloy) 형성 가능
- 직관적인 터치 스크린으로 코팅 공정을 제어입력이 가능
- 네트워크를 통한 최신 소프트웨어 업데이트 가능
- Easy-to-change specimen stages로 변경이 쉬운 스테이지
- CE conformity
Thermal Evaporation Sources (boat / basket / coil)
DTT는 3개의 독립적인 내열성 열 증발 소스(boat / basket / coil)를 장착할 수 있습니다. 코팅 물질들은 서로에 대하여 간섭을 주지 않아 소스 물질의 오염을 일으키지 않아 소스들끼리의 오염이 없을뿐만 아니라 이상적인 합금 코팅이 가능합니다. 소스 홀더의 길이는 5cm~9cm 범위에서 조정할 수 있습니다.
| Models & Specification | ||||
|---|---|---|---|---|
| Items |  |
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| Type | DST | DCT | DTT | DSCT |
| Models | High vacuum dedicated Sputter Coater | High vacuum dedicated Carbon Coater (fiber or rod) | High vacuum dedicated Evaporation (Boat, Basket, Coil) | High vacuum dual purpose Sputter and Carbon Coater |
| Target Materials | Au, Pt, Au/Pd, Pt/Pd, Cu, Ag, Cr, Co, Ir | Carbon fiber, Carbon rod | Au, Al, Pt, LiF, Carbon, Cu, Alloy | Au, Pt, Au/Pd, Pt/Pd, Cu, Ag, Carbon fiber, Carbon rod |
| Target Size | Ø50mm | 0.8mm (Thread) | 5~9cm | Ø50mm, 0.8mm (Threa) |
| Chamber Size | 170mm | 170mm | 300mm | 170mm |
| Sputter Current | 0 to 100 mA | N/A | N/A | 0 to 100 mA |
| Carbon Evaporation Current | N/A | 0 to 30A (fiber) 0 to 100A (rod) | N/A | 0 to 30A (fiber) 0 to 100A (rod) |
| System Power Supply | 80WDC | 720WDC | 80WDC | 800WDC |
| Process Gas | Argon, Nitrogen or Air | Argon, Nitrogen or Air | Argon, Nitrogen or Air | Argon, Nitrogen or Air |
| Tilt-Rotate Stage | Standard | Standard | Standard | Standard |
| Planetary Tilt Rotate Stage | Optional | Optional | Optional | Optional |
| Thickness Monitor | Standard | Standard | Standard | Standard |
| Input Power | 220~240V, 50~60Hz | 220~240V, 50~60Hz | 220~240V, 50~60Hz | 220~240V, 50~60Hz |
| Coater Dimensions (mm) | 500(W)×370(D)×450(H) | 500(W)×600(D)×570(H) | 600(W)×650(D)×450(H) | 500(W)×370(D)×450(H) |
| Shipping Weight | 42 kg | 36 kg | 60 kg | 42 kg |
| Otions & Features | DSR1 | DSCR | DCR | DST1-170 | DST1-300 | DSCT | DCT | DST3-A | DST3-S | DST3-TA | DST3-TS | DTT | PLD | PLD-T |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Sputtering | ||||||||||||||
| Resistance Thermal Evaporation | ||||||||||||||
| Multi Layer Deposition | ||||||||||||||
| RF Power | ||||||||||||||
| DC Power | ||||||||||||||
| High Current Power | ||||||||||||||
| Rotary | ||||||||||||||
| Turbo | ||||||||||||||
| Carbon Evaporation | ||||||||||||||
| Pulsed Laser Deposition | ||||||||||||||
| Co-Sputtering or Co-Evaporation |
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| Size of Vacuum Chamber | S | S | S | S | L | S | S | L | L | L | L | L | L | L |
| Number of Targets or Thermal Sources |
1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
